元代 ， 武州山石窟寺庙院尚存 。明代 ， 大同云冈再度荒废 。云冈之称始于明嘉靖年间 ， 明末崇祯十七年（1644年）李自成起义军路经大同 ， 留部将张天琳驻守后清军入关攻占大同 ， 云冈寺院再遭兵燹 ， 沦为灰烬 。
清代 ， 清顺治八年（1651年）云冈寺院得以重修 。现存第5、6窟的木构窟檐和寺院即为此时重建 。1696年 ， 康熙皇帝于冬日回銮巡幸云冈寺并御书匾额"庄严法相" 。清乾隆年间云冈石窟亦曾有修葺 。
近代 ， 1949年中华人民共和国成立 ， 云冈石窟的主要洞窟和窟前木结构建筑（第5、6、7窟）均保存完好 。1952年设置专门保护机构 ， 石窟文物得以妥善保护 ， 并对公众开放 。
发展时期
云冈石窟佛教艺术按石窟形制、造像内容和样式的发展 ， 可分为早期、中期、晚期三个阶段 。
早期石窟：即今第16～20窟 ， 亦称为昙曜五窟 。根据《魏书·释老志》（卷114）记载：“和平初 ， 师贤卒 。昙曜代之 ， 更名沙门统 。初 ， 昙曜于复法之明年 ， 自中山被命赴京 ， 值帝出 ， 见于路 ， 御马前衔曜衣 ， 时人以为马识善人 ， 帝后奉以师礼 。昙曜白帝 ， 於京城西武州塞 ， 凿山石壁 ， 开窟五所 ， 镌建佛像各一 ， 高者七十尺 ， 次六十尺 ， 雕饰奇伟 ， 冠于一世 。”文中记述的开窟五所 ， 就是当时著名的高僧昙曜就选择了钟灵毓秀的武州山 ， 开凿了雄伟壮观的昙曜五窟 ， 揭开了云冈石窟开凿的序幕 。第16~20窟即帝王象征的昙曜五窟 。平面为马蹄形 ， 穹隆顶 ， 外壁满雕千佛 。主要造像为三世佛 ， 佛像高大 ， 面相丰圆 ， 高鼻深目 ， 双肩齐挺 ， 显示出一种劲健、浑厚、质朴的造像作风 。其雕刻技艺继承并发展了汉代的优秀传统 ， 吸收并融合了古印度犍陀罗、秣菟罗艺术的精华 ， 创造出具有独特的艺术风格 。
中期石窟：是云冈石窟雕凿的鼎盛阶段 ， 主要有第1、2窟 ， 第5、6窟 ， 第7、8窟 ， 第9、10窟 ， 第11、12、13窟以及未完工的第3窟 。这一时期（471-494年） ， 是北魏迁洛以前的孝文时期 ， 是北魏最稳定、最兴盛的时期 ， 云冈石窟是集中了全国的优秀人才 ， 以其国力为保证 ， 进而雕凿出更为繁华精美的云冈石窟大窟大像 。到孝文帝迁都前 ， 皇家经营的所有大窟大像均已完成 ， 历时40余年 。中期洞窟平面多呈方形或长方形 ， 有的洞窟雕中心塔柱 ， 或具前后室 ， 壁面布局上下重层 ， 左右分段 ， 窟顶多有平棊藻井 。造像题材内容多样化 ， 突出了释迦、弥勒佛的地位 ， 流行释迦、多宝二佛并坐像 ， 出现了护法天神、伎乐天、供养人行列以及佛本行、本生、因缘和维摩诘故事等 。佛像面相丰圆适中 ， 特别是褒衣博带式的佛像盛行 ， 出现了许多新的题材和造像组合 ， 侧重于护法形象和各种装饰 。中期石窟也是积极于改革创新的时期 ， 掀起了佛教石窟艺术中国化的过程 。这多种因素的综合 ， 也就产生了所谓富丽堂皇的太和风格

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