技术实习报告格式怎么样？(14)

3）废品：强度平均值小于1000（衬底片为平面）或平均值小于1500（衬底片为图形）的外延片为废品（有一项符合即可判定为废品），外延片在测试过程中造成破裂碎片大于3片为废品。
正品分为以下五档：
A.正常（表面沾污也算正常）
B.点状：主要表现为外延片表面有1mm以下点状颗粒（点状可目视甄别），点状颗粒少于等于20颗视为A 。
C.边缘毛：主要表现为外延片边缘有发毛的痕迹，图形区距离衬底片边缘一定距离，过渡区导致外延片表面有发毛现象，间距在2mm以上的（2mm以下视为A）。
D.雾状（发道）：主要表现为颜色较正常区域浅，不确认时可用显微镜进行观测。
E.发白：主要表现为正常区域的颜色白。
三.片机清机维护作业指导
1.清机维护操作步骤
1）准备工作：专用、乙醇、力矩扳手一套、口罩、手套、吸水纸、铝箔、无尘布、桌布、清机用刀、专用螺丝刀、无尘布、吸尘器。
2.维护操作要求：一人操作，一人确认。3.维护操作前的准备：
1）关闭所有MO源手动阀（先关开口再关出口） 2）关闭手套箱的清扫。4.清机维护操作步骤：
1）打开两面的手套箱面板，注意拆卸下的面板固定螺丝放入装置盒不得丢弃。
2）拆下EPITT的光纤注意光纤的进出口，用铝箔包好。注：机台无EPITT有AUBER无需拆下。
3）检查反应室灯是否完好、碟阀开合角度以及内部状态微开关是否出现松动。
【技术实习报告格式怎么样？】4）在主控界面中运行BEFORE.CLEAN程序。
5）用铝箔热反应室加热灯丝上，防止颗粒窜入灯丝内腔内及周边。
6）用刮刀清理SH 注意上盖边圈的水管，刮刀清理时一人用吸尘器吸除掉下的颗粒物，确保车间内洁净度。
7）结束后用无尘布擦拭干净上盖边圈的密封圈以及密封接触面，若0-RING有损坏请及时更换。
8）SH清理完成后在主界面运行AFTER CLEAN程序。9)取出J-line关闭反应室，将钥匙旋转到MAINTENANCE MODEON（位于左面板后部上方）。拧下固定反应腔的五个螺丝，将钥匙从SH ENABLE扭到CHAMBER ENABLE按绿色OPEN缓慢升起反应室上盖，用吸尘器清理内部灰尘颗粒，然后用乙醇擦拭干净（上端O-RING/三五旋进入口O-RING）.上下密封接触面等。
10）取出LINE SPRING擦拭干净后放入。
11）按CLOSE键缓慢降下反应盖，用专业力矩套筒设为20N对角拧紧固定反应室的5个螺丝。
12）将钥匙打至SH enable ，按绿色OPEN键打开反应室放入J-line右磨盘并关闭反应腔盖。5.检漏