技术实习报告格式怎么样？(15)

1）在主界面关闭反应室前端所在进气口G5、G6,G1设它进入反应室MFC为0（F309,300,304,306,307,351,352,353） 2）抽反应腔压力为0 3）平功缓慢打开碟阀至100% 4）接上检漏仪开检漏口N6待检漏仪抽到（x10-9mbar）开始检漏
5）确认没有泄露后并关闭检漏口N6 ，关闭检漏仪并移走它 6）打开反应室所有进气口G5 ， G6 ， G11 ，设定进入反应室MFC为初始值
7）缓慢打开反应室压力到 1000mbar 8）钥匙旋转到MAINT ENANCE MODE OFF.9）复查一遍确认没有遗漏。
10）运行BASESTATE程序与OPEN ENABLE程序
11）确定无遗漏后装上EPIFF光纤，装上手套箱的面板手套箱然后开启。
12）开所有MO源（先开出口再开进口）
13）清机维护结束，填写《设备日常维护点查表》《设备履历表》。
四.更换MO源
步骤：1.冲抽完毕后按照RECIPE提示关闭1/4手阀。2.Jump ， Recipe&Abort Recipe后开始卸载旧MO源（去除原使用的垫片）取出并擦拭干净后称量，做好各项记录（用扳手拧开瓶口时需掌握好俩扳手间角度30-45°以便能手操作，同时需另一个人稳住源瓶，同时注意pigtail尾部连接处扭矩，以免损坏；称重时需加源瓶进出口保护螺帽和垫片的重量。）。
3.1）拆开新MO源包装，用扳手宁开源瓶螺口，检查源瓶口内外附近是否有杂质。
2）称重并记录新MO源的数据、源瓶种类、源瓶编号、源瓶级别、源瓶称重、源瓶标重、MO净重等。（用扳手拧开瓶口时需掌握好俩扳手间角度30-45°以便能手操作，同时需另一个人稳住源瓶）
4.在做完以上步骤同时，另一人准备好He检漏仪的安装连接与开机（He检漏仪的电源不能漏在机台电源上，并注意周边电源线保证不中断）
5.将准备好的新MO源小心放入恒漏池：1）更换洁净手套安装UCR垫片令其卡紧借口
2）连接Pigtail时注意源瓶上的进出口标志，勿要接反，接口紧固时注意紧固程度。
6.准备检漏，在N5手阀未打开前，确保能够抽到真空度1E-10级别。
7.以上完毕后， He检仪STOP,打开1/4手阀， He检仪START,确保真空度大于2E-9级别。
8.He检仪示数稳定后进行He检，检漏时注意真空度变化，如果示数急速上升，则表示此处有漏，则需要将接口再拧紧些再检漏直至He检时不再上升，注意如果有一直漏，则需要重新安装垫片，再重复以上操作；源瓶手阀左右各一孔，接口pigtail处两孔1/4手阀处。9.检漏完毕后，关闭1/4手阀与N5阀，按检漏仪STOP键，按UENT按钮，关闭电源，拆除检漏连接，清理现场，往冷阱注入防冻液，打开恒漏池电源（注意阀门关闭顺序，注入防冻液时防止液冻溅出造成机器报警，注意液面高度低于恒温槽顶5mm ，检查温控是否正常工作，如有异常按下Reset ，检漏仪过30mm后再搬开）。